首先，xy滑台也称X轴和Y轴两轴平台，简单说就是将2个一轴滑台以底座成直角的形式组成。

另外，驱动方式方面，步进电机（伺服电机）和滚珠丝杠通过联轴器直接连接，与滚珠丝杠螺母部固定的工作台作为可动部位发生直线动作。

此时，可动部位和工作台搭载物的负荷由上银导轨支撑，包括工件在内的可动部位运行时产生的pitch、roll、yaw方向的各力矩负荷也同样被线性导轨支撑，有助于实现高精度搬运。

除了上述类型之外，还有各种各样的类型，例如采用线性马达作为驱动源，或者使用皮带驱动作为直动机构等。驱动源方面，只限于步进电机或者伺服电机，但稍后在谈到精密搬运控制的时候，想另外补充说明。